陆向真有意培养她,让她参与多个重要项目,甚至独立负责一个小课题。
江晓也不负众望,很快展现出她的才华,特别是在将机械设计知识与半导体工艺设备改进相结合方面,提出了许多独到的见解,解决了实际生产中的不少难题。她就像一颗经过精心打磨的钻石,渐渐散发出属于自己的光芒。
1978年,随着政策的调整,学术氛围日益活跃,国际交流的窗口也逐渐打开。
年事已高的林翰民教授正式退休。
研究所为他举办了简朴而隆重的欢送会。
会上,老教授感慨万千,他紧紧握着向真的手,老泪纵横:“陆所长,谢谢你……谢谢你这么多年的信任和保护……能看到研究所走到今天,能看到我们自己的硅材料用在国家的建设上,我……我这辈子,值了!”
虽然退休,林翰民却闲不住,很快被研究所返聘为顾问,依然时常来到所里,看看数据,指导一下年轻人,发挥着余热。
此时的共和国半导体材料事业,在向真和她的团队披荆斩棘、筚路蓝缕的开拓下,已然打下了一块虽不庞大却足够坚实的基石。
他们制备的高纯硅和单晶硅,已经成功应用于国内多家器件厂的晶体管、二极管乃至早期小规模集成电路的试制生产中,为“东风吹,战鼓擂”的电子工业建设提供了最基础的“粮食”。
夕阳西下,陆向真站在办公室窗前,望着楼下院子里生机勃勃的景象:新扩建的厂房正在安装设备,留下值班的年轻科研人员步履匆匆地抱着资料穿梭,远处传来设备运行的微弱嗡鸣。
十年风雨,十年磨剑。曾经的荒芜之地,已是绿树成荫。
沈屹不知何时来到了她身后,将一杯热茶递到她手中:“看什么呢?”
“看未来。”向真轻声说。
她的目光越过研究所的院墙,仿佛看到了更远的地方,“沈屹,你说,我们什么时候,能造出我们自己的、真正大规模集成的电路?”
“会有那一天的。”沈屹的声音低沉而肯定,“你们已经把最难的路趟开了。”
“是啊……”向真喃喃道,“路还长着呢。硅只是开始,还有砷化镓,还有磷化铟,还有那么多新的材料体系……光刻技术、薄膜技术、掺杂技术……都需要跟上。”
她的眼神中闪烁着憧憬。
就在这时,办公室的门被敲响了。
何沁拿着一份文件,脸色有些凝重地走了进来。
“所长,沈主任。”何沁打了个招呼,将文件递给向真,“刚接到部里转来的紧急通知。有一个来自西方的半官方技术交流代表团下周访华,点名提出要参观我们的半导体材料研究机构。部里的意思是,让我们所负责主要接待。”
陆向真和沈屹对视一眼,都有些意外。这种层次的交流,在以往是极其罕见的。
“交流是好事啊。”她接过文件,“正好可以看看外面的世界发展到什么程度了。”
“但是,”何沁的语气带着一丝担忧,“通知里特别强调,这个代表团的背景比较复杂,里面有几位是国际上知名的半导体专家,但也有一些是大型设备公司的顾问……部里要求我们,既要展示成绩,扩大开放影响,又要……务必做好技术保密工作,尤其是一些我们独有的工艺诀窍和正在攻关的新技术方向。”
陆向真翻看着文件后面的代表团成员名单和初步日程安排,眉头微微蹙起。
她注意到名单中有一位名叫“威廉·福斯特”的博士,是美国某知名半导体实验室的首席科学家,以其在硅材料缺陷分析和先进光刻技术方面的研究而享誉业界。
这是一个难得的学习和交流机会,但无疑也是一次充满未知风险的考验。
陆向真抬起头,目光变得锐利起来:“通知下去,明天上午召开全体骨干会议。我们准备一下。”
她顿了顿,嘴角勾起一丝带着挑战意味的弧度:“也让外面的专家们看看,我们中国人,在这条硅基之路上,到底走出了多远。”
西方半导体技术交流代表团到来的消息,在中科院新材料研究所内部引起了极大重视。
通知下达得紧急,留给研究所的准备时间满打满算不到一周。
整个研究所立刻高速运转起来。陆向真主持召开了全体骨干会议,神色冷静,条理清晰。
“这次接待,意义重大。”她的目光扫过会议室里每一张熟悉或不那么熟悉的面孔,何沁、王世钧、江晓,以及各研究室、项目组的负责人,“这是近十年来,首次有西方半官方的高级别技术代表团深入参观我们的半导体材料研究机构。一方面,这是我们向世界展示共和国自力更生、艰苦创业所取得成绩的窗口,是打破外界对我们技术空白偏见的机会;另一方面,也必须清醒认识到,交流的背后必然伴随着试探甚至窥探。各位务必牢记:开放交流,不意味着无保留展示;热情接待,更要严守保密纪律。”
她顿了顿,语气愈发凝重:“尤其是我们独创的某些工艺诀窍、正在攻关的前沿方向、以及具体的产能和良品率数据,这些关乎核心竞争力的信息,必须严格控制在必要的范围之内。展示什么,如何展示,讲到什么程度,各课题组负责人要亲自把关,列出详细预案,报何沁何副所长和我审批。”
任务分解下去,整个研究所仿佛一架精密仪器,开始了紧张的准备工作。
清扫环境,整理实验室,筛选可以公开的数据和样品,准备介绍材料……
最忙碌的当属陆向真、何沁、王世钧和江晓等核心骨干。
陆向真负责总筹和关键技术的把关;何沁带领行政和档案团队,精心准备文字资料和接待流程,确保万无一失;王世钧则带着工人师傅们对参观路线上的设备进行了最后的检查和维护,务必保证外宾参观时不出纰漏;江晓作为新生代的技术尖子,也被委以重任,负责部分区域的讲解和技术答疑。
看着江晓有些紧张却又努力镇定的样子,陆向真仿佛看到了几年前刚进所里的那个青涩女孩。
她拍拍江晓的肩膀,语气温和却充满信任:“别怕,把你平时做的工作、掌握的知识,清晰、准确地表达出来就好。你是我们所培养出来的优秀人才,要对自己有信心。”
江晓深吸一口气,用力点了点头:“所长,我明白,我一定不给所里丢脸。”
准备工作繁琐而细致,常常忙到深夜。
沈屹办公室的灯光也总是亮到很晚,他需要协调另一层面的接待安排和安全保障。
夫妻二人有时几天都打不上一个照面,只能通过留在办公室的字条或深夜回家时对方床头的一杯温水,感知彼此的存在和支持。
约定的日子终于到了。
初秋的北京,天高云淡。
几辆黑色的轿车缓缓驶入中科院新材料研究所并不起眼的大门。
代表团一行十余人,在部委和院领导陪同下下车。
他们中间有头发花白、气质儒雅的学者,有眼神精明、穿着考究的企业顾问,有几位相对年轻的随行技术人员者,也有几位眼神中带着精明审视意味的产业界代表。
那位名单上注明的美国专家威廉·福斯特博士也在其中,他约莫五十岁年纪,身材高大,灰蓝色眼睛里带着学者式的专注和居高临下的优越感。
好奇、审视、或许还带着几分优越感的目光,打量着这个传闻中在封闭环境下搞出了点名堂的共和国研究所。
简单的欢迎仪式在会议室举行。
部委领导致了欢迎辞,表达了开放交流、互利合作的愿望。
代表团团长,一位来自欧洲某著名理工大学的格哈特教授,也礼貌地回应了感谢,言语中多少带着些程式化的客套。
寒暄过后,便是重头戏——实地参观。
陆向真作为所长,亲自担任主讲解。
她今天穿了一身熨烫平整的深灰色列宁装,脸上未施粉黛,却自有一股沉静而锐利的气度,令人不敢小觑。一位专业的翻译陪同在侧。
参观从原材料提纯车间开始。
看着那些经过改造、显得有些“土气”但却运行良好的精馏塔和还原炉,看着王世钧带着技术人员熟练的操作,以及最终展示出的银光闪闪的高纯多晶硅棒,代表团中的几位专家眼神开始有了变化。
有人拿出随身携带的小本子记录,有人开始提出更具体的技术问题。
“你们是如何控制还原炉内温度场均匀性的?”
“对于硼、磷这些特定杂质的分馏系数,你们的控制精度能达到多少?”
“硅棒的沉积速率和能耗情况如何?”
问题逐渐深入,甚至有些刁钻。
陆向真从容不迫,通过翻译,用清晰而准确的语言一一回应。
她巧妙地将工艺原理和达到的效果(如纯度达到几个9)阐述清楚,但对于实现这些效果的具体工艺参数、设备内部的核心结构设计,则避重就轻,或以“这是经过我们多次实验优化后的综合结果”、“涉及具体生产工艺细节不便透露”等理由得体地避开。
她的回答既展现了扎实的技术功底和对产业的深刻理解,又牢牢守住了保密底线。
几位外国专家听了翻译后,彼此交换着眼神,其中的轻视渐渐被惊讶和探究所取代。
接下来参观单晶制备车间。
当看到那台经过无数次改进、加装了自制磁场装置的单晶炉时,代表团中一位美国企业的技术顾问,嘴角似乎掠过一丝笑意。
——那是一种看到落后技术时的宽容甚至怜悯。
但当陆向真介绍到他们利用磁场抑制熔体对流、显著降低晶格缺陷的思路,并展示了由此制备出的、表面光洁度极高的单晶硅锭时,那丝笑意凝固了。
“磁场辅助?”那位顾问忍不住通过翻译追问,“具体采用什么类型的磁场?强度多大?”
陆向真微微一笑:“这是我们根据自身设备条件和材料特性,摸索出的一种有效方法。但,具体参数属于工艺机密。”
她话锋一转,示意工作人员取来几片经过不同工艺处理的硅片样品,在简易但洁净的检测台下展示。
硅片在灯光下反射出均匀的光泽,数据虽然只是基础的电学参数,但已足够证明其“可用”性,绝非空白一片。
威廉·福斯特博士不知为什么,格外关注针对单晶硅的制备区。
他没有先去看研究所工作人员取来的硅片样品,而是先仔细打量着那台经过无数次“土法”改造、加装了自制磁场稳定装置的区熔单晶炉,眼神锐利,似乎想从那些略显粗犷的外表下看出内在的门道。
“很……独特的设备。”福斯特通过翻译评价道,语气听不出褒贬,“据我所知,磁场辅助区熔技术对磁场均匀性和稳定性要求极高。贵所是如何解决这个难题的?”
几乎同样的问题,他们提了第二遍。
这次带着一丝更加深入的试探意味。
陆向真神色不变,从容应答:“我们确实遇到了一些挑战。通过建立完善的理论模型指导,并结合大量的实验反馈进行结构优化,我们初步解决了稳定性问题。”
“不过,再说一遍,具体的改进涉及多项专利和技术秘密,恕不便详谈。”
她接着示意工作人员展示最近几批单晶硅棒的检测报告,“若有疑虑,各位可以看看我们硅片的检测数据。”
当看到电阻率均匀性偏差小于5%、位错密度显著降低的检测数据时,代表团中的窃窃私语声明显增多了。
这些数据虽然距离国际最顶尖水平仍有差距,但已完全达到了可用标准,证明了共和国研究者并非闭门造车,而是切实掌握了核心技术环节。
“令人印象深刻,陆所长。”福斯特博士由衷地说道,“在如此有限的条件下,取得这样的进展,需要非凡的智慧和毅力。”他的赞誉显得真诚许多。
他终于拿起一片经过化学机械抛光处理后的硅片,对着光线仔细观察其表面光洁度,又询问了关于表面缺陷控制的一些问题。
这次是由何沁负责回答,她拿出提前准备好的、不涉及具体配比和工艺的对比图谱,展示了改进前后的效果差异,同样做到了既展现成果,又保护诀窍。
代表团的其他人凑近仔细观看,甚至拿出放大镜观察硅片边缘,原来脸上或多或少的轻慢之色终于彻底消失,取而代之的是浓重的惊讶和审视。