大国智能制造 第七百六十八章 腰杆子直起来

“老胡，来。zuowenbolan咱们一起合影留念！”这时，董教授朝正在观看工作站显示屏的胡明镇，使劲的招手。

“对！这么重要的时刻，咱们一定要记录下来。”

“小梁、老郝，你们都一起来合影留念。”

董教授、单教授等一干院士级专家教授们都非常兴奋，抑制不住内心的激动。他们都在手舞足蹈的说着话。

光刻硅晶圆片的速度非常快，两分钟不到就可以给一片8英寸的硅晶圆片完成曝光流程工艺。因为这次给朱雀·酷睿I芯片做流片工程，其实就是一次测试。胡明镇没安排批量生产，只让手下的团队准备了10片硅晶圆片。

在董教授等人邀请他合影留念的时候，正在工作的KrF光刻机已经完成了给第一片硅晶圆片曝光照相的流程，用时在95秒左右。这个速度在目前来说应该是全球第一，要远远超过那三台从米国运来的KrF光刻机。

不但如此，胡明镇设计的这台第三代光刻机，一直秉承了鸣芯制造公司的传统，采用双工制程工艺，拥有两个工作台。

在刘教授这帮人激动不已手舞足蹈的时候，这台光刻机的激光头已经挪动位置，转到另外一个工作台上开始扫描掩膜片，给硅晶圆片曝光。

于此同时，另外一只检验激光头开始工作，给已经曝光好的硅晶圆片做检验，执行硅晶圆片蚀刻工艺前的验片制程工艺。

这一套制程工艺都是一鸣集团公司的Foundry制程专利技术，一般情况下是不对外开发的。

刘教授、董教授和单教授等一般院士专家，也是沾了光，要向总部首长汇报全国首台第三代光刻机科研成果，才得以在这么机密的环境里近距离观看芯片光刻制程工艺流程。所以这帮人非常激动，有点把持不住自己。

看了看这些个鬓发花白的专家教授，胡明镇含着笑微微一摇头，“老刘，合影留念的事情咱们不着急，等验片结果出来再说吧。”

芯片光刻、验片都是微观的精密工艺，用肉眼是不能检验出结果。只能通过电脑模拟显示光刻流程和验片流程是情况。

梁宋松此时的工作就是在观察芯片扫描光刻的验片数据结果，两只眼睛一眨不眨的盯着工作站的显示屏。突然，他大笑一声，“成了，老师。第一片硅晶片光刻成品率达到百分之一百！”

说完这些，他一跃而起，从电脑转椅上跳了起来。

虽然说光刻流程工艺仅仅是芯片流片制程工艺的第一步，后续的工序仍然会降低芯片成品率，但百之一百的成功率还是值得庆贺的。

“百分一百的成品率？这么厉害？”刘教授听到这个数据，顿时有点瞠目结舌了。

其他的专家教授们也是如此，顿时都跑到那台工作站的显示屏旁边，想要一睹为快。

此时此刻，电脑屏幕上显示的一组组图形比对数据，并没有什么芯片物理图形，不是很直观。但那些一组组的比对数据却可以明确的指出，第一片硅晶圆片的曝光光刻成功率。

“各位专家，我们这台光刻机采用扫描式曝光制程工艺，其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过，激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层，留下电路图的影像……”

梁宋松指着电脑屏幕，把电脑屏幕上模拟的光刻流程、硅晶圆片比对流程等制程工艺流程，一一跟这些专家们介绍一番。

这些专家们理论知识比较丰富，第三代光刻机的光刻制程工艺却比较陌生。

特别是胡明镇发明的FinFET制程工艺，他们只是在专业杂志上看过技术论文报道，根本没亲眼见识过。今天能有这次机会亲眼看到KrF光刻机实施光刻、验片等工艺流程，总算是开了眼界。

“这套系统的技术确实强，已经超过我所意料之外。”

“真没想到，我们华国也能制造出这种尖端精密设备！”

“胡教授，你们给我们国家争光了。”

刘教授、董教授、单教授等人啧啧称赞，脸上浮现出崇敬不已的表情。

不服气不行啊，事实就摆在眼前。

这帮教授们此时都在打着小算盘，准备回去立即鼓动自己的学生来一鸣集团公司任职。“为甚要出国留学？去鸣芯制造公司任职比留学还要强许多啊！”他们都如是想着。

这时候，梁宋松洋洋得意的介绍，“各位专家，双工制程工艺、FinFET制程工艺、扫描式制程工艺等先进的制程工艺，都是我们团队和老师研发的，在第二代光刻机上已经得到过验证。

“不但如此，我们这台光刻机还应用了浸入式制程工艺。把光刻精度再次提高一大截。这种浸入式制程工艺在全球都是一绝，米国佬就是为了得到这种制程工艺才赠送我们三台KrF光刻机的……”

刘教授等人虽然从新闻报道上听说过梁宋松所说得的典故，但现在亲耳听到这段故事，心情激动的不行，宛如喝了蜂蜜一样。

“我们华国有这种尖端技术，并不比老外的水平差！”他们都心潮澎湃，胸膛不由自主的挺了起来，腰杆子也值了。

“不要瞎吹了，快准备好拍照留念的事情。”这时候，芯片技术大咖胡明镇却给梁宋松下达扫兴的命令。

梁宋松没办法，只好朝各位专家们歉意的笑了笑，开始准备布置木椅、幕布、照相机等设施。他也知道，自己的老师这是在故意支开自己，不让自己在这里夸赞老师和团队的功绩。

“老胡，从现在的情况来看，这台光刻机的性能应该达到设计要求了吧？”刘教授意犹未尽，瞥了一眼离去的梁宋松，然后走到胡明镇的身旁。

而胡明镇却微微摇头，“按照我的本意，这台光刻机的速度要达到每分钟曝光一片硅晶圆片。但由于机械、光源功率、光源精度等因素的影响，我们的速度只能达到设计数据的67%。惭愧啊……”

即便这台光刻机有可能是全球目前最先进的光刻机，胡明镇对自己的作品还是感到有些不满意。

“老胡，你就不要矫情了。有了这台光刻机，我们的腰杆子已经直起来喽！”就在这时，章钕京来到光刻室的门卫，咧着大嘴笑呵呵的打趣。