大国智能制造 第七百六十七章 伟大时刻

董教授的话中打着埋伏，是要当着众人的面跟胡明镇还价。gsgjipo作为工程院的学术带头人，他是有资格引进一鸣集团公司制造的高精度检测仪器系统。

但这种耗资七八千万的大型科研项目，还是要通过会议集体来决策。而今天的现场的院士都有资格参加会议讨论作出决策，董教授趁机提出这条建议，让大家有点心理准备。

“我支持老董的意见。不过胡教授，你们一鸣集团公司也应该给我们一个特优惠的报价，我们工程院的课题资金费实在太紧张了。”

“老韩说得对。这项目一旦被批准，我们的课题费都要被削减。”

“老胡啊，你行行好。为了我们华国的科研事业，你这边一定要压缩成本再压缩！”

刘教授、单教授等人都笑眯眯拿胡明镇开玩笑，半真半假的在压价。

胡明镇经验丰富，怎么会听不出来？“各位专家，无论我们怎么压缩陈本，光刻室里的这套高精度检测仪器系统，造价不会低于七千万元呐。”他微皱着眉头解释。

“各位院士，我老师说得没错。我们集团公司为了研发这台光刻机，总共投入十三亿多元。激光光路系统花了三亿多，主体系统也只有两亿多。其他的费用就是花在这些精密仪器研发的方面。”

这时，梁宋松也出来帮忙，给老师胡明镇解围。

听他说完这番话，光刻室里的各位专家教授们顿时都大惊失色。

“一个课题项目烧了十三亿多，我的乖乖！”

“由此看来，光刻机项目也只能让企业牵头来搞。我们这些科研教学单位肯定搞不起来。”

“是啊，一鸣集团公司真的愿意在科技创新方面花大钱，不像有的企业就是一句空话。”

刘教授等人都在咂舌惊叹，也不好意思再往下还价了。胡明镇虽然没说出这种高精度检测仪器的成本分项，他们也能猜测到其中的配件肯定非常贵。

于是乎，董教授跟大家一合计，决定先在京师科学院搞一个实验室中心，把光刻室的这套高精度测量系统引进过去。

做完决策，他又笑眯眯的跟胡明镇商量，“老胡，我们准备跟贵集团公司合作，在南安创办一个电子大学。你们单位也要投资，最好就把这套精密测验仪器系统配置到大学实验室里。”

“这个办法好，我举双手赞成。”刘教授听出董教授话中的含义，在一旁配合着笑道。

他们这个打算很精明，通过这番操作，华夏科学院立即就能获得两个高档的实验室，实验室的装备水平在全球都算是一流的。

胡明镇听到这番话，心里在犹豫。

“这么重大的投资，我也无权决策啊。不过。各位专家，我们许董一向喜欢在新技术方面投入巨资，咱们合作办学的这个电子大学。我想他应该会批准的。”他只能含糊其辞的说着客套话，并没有拒绝董教授等人的提议。

“只要许董愿意投资，我们这联合办学的大学就由许董来命名。”

“对，我建议让许董亲自任校长！”

董教授、刘教授等人笑呵呵的跟着补刀，想把这个决策给坐实了。

就在这时，负责光刻机整机联动调试的郝宁教授，朝胡明镇招了招手，“胡总，我们刚才已经模拟运行过一次，这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试？”

按照光刻机本来的调试流程，一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间，郝宁教授才会这么询问胡明镇。

胡明镇闻言，稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎，从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务，只好微微点头，“老郝，我同意执行流片测试程序。”

“好！”

郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手，“立即执行流片工程测试程序！”

随着他这一声令下，光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来，做流片工序的准备工作。

芯片流片非常讲究，仅仅光刻室里就由许多道制程工艺组成。

比如说，蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦……等等等等。

这些工序的精度要求都非常高，而且要在无尘状态操作，不得马虎。

不但如此，光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定，否则都会影响光刻硅晶圆片的精度，影响流片的成品率。

“老胡，这台设备我们已经测试过很多次，也通过好几次实战，应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏，所以才特意走来宽慰几句。

胡明镇闻言收回目光，朝郝宁教授颔首点头，“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”

“是不是就像准备去参加高考一样？”站在他身旁的刘教授说起玩笑话，拿胡明镇开心。

玩笑话虽然是玩笑话，但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家，每当自己的科研项目接受论证审查时，应该都是这种心态的。

一个半小时以后，梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍，然后朝胡明镇伸出两个大拇指，“报告胡总，全国产第一台KrF光刻机已经做好准备，下面要开始执行光刻制程工序，请指示。”

“开始！”

胡明镇猛然一挥手。

“嘟嘟嘟……”随着这一声令下，这台光刻机主体系统上方的报警灯开始闪烁，隔绝玻璃门开始缓缓关闭。

“好啊，终于开始了。”

“这是一个伟大的时刻！”

“我们这些人都在见证历史啊。”

看到这一幕，刘教授、董教授、单教授等人都非常激动，嘴里忍不住唠唠叨叨的说着话。

因为他们这些人跟胡明镇一样，也是第一次见证这台全国产第三代光刻机的正式执行光刻制程工艺。

这是一个值得纪念的时刻！

刘教授特意看了看自己的手表，时间是：“1997年，2月16日凌晨0点19分30秒！”