大国智能制造 第七百六十九章 眼界决定成功

“老章你来的正好，下面的工作就要移交给你喽。duanzixiaohua”胡明镇看了看光刻机的工作台，准备把朱雀·酷睿I芯片的流片制程工序移交出去。相对而言，主管生产的章钕京在这方面是专家，他来主持后续的制程工艺流程最合适。

“没问题！不就是还剩7只硅晶圆片么，我二十分钟搞定光刻流程。”章钕京挤眉弄眼的来到胡明镇的身旁。

他扫了一眼工作台，又瞥了一下光刻机的工作站显示屏。“哎哟，这台光刻机的功效很不错嘛，平均光刻时间是95.4秒，比老米的光刻机要快了7.5秒钟。”他随后咂砸舌头，半开玩笑的拿胡明镇开心。

事实上，章钕京也是团队成员，对这台国产KrF光刻机的速度并不满意。他们在设计这台光刻机的时候，曾经准备计划75秒钟完成一只硅晶圆片的光刻曝光流程。现在的功效暴跌，还需要做一些制程工艺的调整才行。

可刘教授、董教授和单教授等人都是精通理论知识的外行人，见章钕京这么说话，于是都纷纷点头附和着。

“章教授说得对，我们这台光刻机的速度只要超过老米的产品就是胜利！”

“从光刻曝光的速度上来说，我们这台光刻机的技术已经站在世界的巅峰。”

“老胡快来拍照，不要搞得像小女儿家似的。你是核心人物，应该坐在中间。”

董教授一把拽着胡明镇，直接就朝过合影的位置那边拖过去。

他们这些人不了解胡明镇和章钕京等人追求，对目前的结果其实已经非常满意。

从内心来说，他们这帮院士们已经认可这台国产第三代光刻机的性能。只要等朱雀·酷睿1芯片流片成功，质量检测报告一出来，刘教授等人就会在论证报告上签字确认了。

而胡明镇此时却还在搜肠刮肚的思考着，寻找这台光刻机速度减慢的原因。“老章，你认为是什么地方出了问题？”在前去拍照留念的路上，他微皱着眉头问章钕京。

“什么地方都有问题。比如说合金材料的成分、机械加工精度、机械装配精度、激光光路系统的配合精度…等等等等。方方面面的因素综合到一起，也就导致我们这台光刻机无法提速，否则就会出现成品率不达标的结果。”

章钕京收起玩世不恭的模样，也微皱眉头在跟胡明镇做技术分析。

哎……看来我们还是要重新设计一台光刻机才行喽！

“只能这么办！就是不知道许董会不会支持我们的工作。”章钕京拍了拍胡明镇的后背，微微一叹。

就在这时，负责操作光刻机工作站的技术员高声汇报第三片硅晶圆片的验片数据结果，“报告胡总、章总，第三片硅晶圆片的光刻成品率超过98.23%，出现一颗废品芯片。”

“额？激光光源有点不稳定？”

“肯定是光源问题！”

听到这话，已经拍好队伍的胡明镇和章钕京，几乎同时说出一致的原因判断。

而这些数据对于刘教授等人来说，已经是非常高的合格数据。在他们看来，即便是从米国或者岛国进口的光刻机，也不能做到这么高的成品率。

更何况，刘教授等人所能接触到的光刻机，都是国外淘汰的二手光刻机，而且都是一代、二代接触式光刻机。

见识不够，眼界不同，看到的结果就相差非常大。

“老胡、老章，刚才汇报的数据很不错，你们两面对镜头笑一个！”刘教授侧过脸，招呼胡明镇和章钕京。

胡明镇瞥了瞥嘴唇，朝章钕京苦笑一下，“先拍照吧。等一下你再做实验，把问题的原因找出来。”

“只能这么办喽！”章钕京会意的点头。

随着一阵咔嚓咔嚓的声响，胡明镇和章钕京两人的苦笑被定格在这次合影留念的照片上。

刚刚完成合影留念仪式，章钕京就朝手下的技术员大吼一声，“小李，你立即启动紧急风冷装置，给激光光路系统降降温。”

听到这话，郝宁教授一皱眉，“老章，你的意思是激光发生器的温度过高，激光粒子出现不稳定的情况？”

章钕京没说话，微微点头，皱着眉头朝光刻机的工作站走去。

胡明镇的表情跟他一样，此时也很严肃。

他们这帮人表现的如此严肃，这让刘教授等人感到很诧异，“现在的数据非常好啊，老胡他们为甚不开心？”

揣着这种狐疑，刘教授、单教授和董教授等一帮院士级的专家们都收敛笑容，跟在胡明镇等人的身后一起去观看电脑显示屏上的数据。

此时此刻，这台光刻机已经完成了第五片硅晶圆片的光刻工序，激光头正在挪动，朝另外一个工作台横移而去。

“老师你看，激光粒子的强度上来了。”这时，正在操作工作站的技术员指着电脑屏幕惊喜的汇报数据。

激光粒子的强度会直接影响光刻工序的成品率，忽高忽低的情况一般都不允许出现。

“老郝，还是你激光发生器出了问题！”看到这一幕，胡明镇侧过脸来提醒郝宁教授。

郝宁教授的眉头不禁一皱，“是这个道理，但我们目前只能做到这种精度了。”

他告诉胡明镇，影响激光发生器的因素有很多，仅仅卤化物的纯净度这方面就会产生N种激光粒子。更别说激光发生器的机械材料、机械加工精度、机械装配精度等等，都会影响激光粒子的强度。

“长见识喽！难怪我们国家在激光发生器领域跟老外的差距那么大。”

“所以说，我们眼前的这台光刻机所蕴含的技术要远超我们的预想。”

“我认为咱们现在就可以下论断总结，判定这台KrF光刻机研发成功。”

“我同意老单的意见。”

听完郝宁教授的解释，刘教授、单教授、董教授等人反而比较高兴，在光刻室里就已经拿出此次论证审核的初步预判。

在他们看来，胡明镇的团队能做到这一步已经非常成功了。

这台光刻机的项目所取得的成绩，要远远大于项目本身的意义。

然而此时，胡明镇却微皱着眉头跟章钕京商量，“老章，我认为你还要增加两个批次的流片工程测试。”

“对，一个是高功率消耗的模式做光刻实验，一个是平常额定功率模式做光刻实验。”

“那实验经费怎么办？”胡明镇有些愁眉不展。