大国智能制造 第七百二十七章 问题到底出在哪里

“老万，你怎么看？”许振鸣却没直接回答郝宁教授，反而站起身来问万宁古。gsgjipo

万宁古此时正用一块碎布擦着手上的污渍，脸上的露出犹豫不决的表情。

他有点相信梁宋松的判断，认为没有必要再做两遍激光光路系统的测试。但这种连续做三遍激光能量测试的计划是原先预定好的，现在立即推翻的确有些过分。

更何况郝宁教授是团队里精通光学的专家，制定的计划肯定科学。他们这些外行人怎么能随便瞎指挥。

想到这里，他朝许振鸣苦笑道：“许董，我认为郝宁教授是专业人士，制定的计划应该非常专业，咱们还是按照预定好的计划来执行。”

“好！我跟你的意见一致，专业的事情应该交给专业的人去处理。”许振鸣笑道，顺手接过万古宁递来的碎布团。他一锤定音，解决了郝宁团队和梁宋松的意见分歧。

事实上，按照许振鸣的想法，他本来不便参与这种高精技术项目的决策。但郝宁教授现在要做的是重复两次测试，顶多浪费一些时间和钞票。许振鸣承受的起，一鸣集团也不缺这点资源。

更何况，郝宁教授应该不会无的放矢，有自己专业技术方面的考虑才是。

一念至此，许振鸣朝郝宁教授一挥手，“郝教授，你们团队的测试流程都要按照预定好计划来执行，不要怕花钱，我们集团公司做项目是不怕花钱的。”

“好的许董。”郝宁教授微笑着点点头，开始忙碌起来。

而作为项目小组的负责人，梁宋松此时有点尴尬，心里更是很难受，“这帮土包子不听老人言，吃亏就在眼前呐。”

梁宋松没说话，站在那里一会儿看看郝宁教授团队的操作情况，一会儿又看看万宁古这帮人的测试流程。

这时。

万宁古的团队成员们已经把光刻机主机系统接上各种测试仪器，要立即再次检测这台主机系统的重复精度、运动精度、震动量数据、功率输出数据、运行过程中的功率变化数据、电磁杂波数据等等。

这套实验测试流程，也是刚才再三讨论过的检测技术方案。主要目的还是要看一看这台国产光刻机主机系统的各项数据，跟以前的测试报告有没有发生变化。

倘若没有发生变化，那就有点麻烦喽！

作为一鸣集团公司的重点项目，这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后，其实已经测试过很多次。倘若数据不过关，项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。

但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出现问题，逻辑上怎么也解释不清楚。

带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。

时间不久，他担心的事情出现了……

当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。

“报告许董，主机系统重复精度小于0.001毫米，数据正常。”

“报告万总，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻程序造成影响。”

“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”

“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”

“……”

技术员们非常专注，每出现一个数据就会把情况如实汇报。

通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！

另一边，郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程，一切也正常。

不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正常范围之内。

由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问题，性能非常稳定。

看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”

“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两手一摊，看着许振鸣苦笑，并且直摇头。

今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。

但现在一番检测下来，这两台设备的情况都很正常，问题到底在哪里？

“两台设备单体都正常，组装在一起就不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”

这时，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确，就是这个接驳机构出了问题。

“想想也是，我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来，说出自己的猜想。

“不可能！我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的，加工精度能保证。”万宁古一边说话，一边也跟着半蹲了下来。

这时候，梁宋松有点懵懵的。出于自信，他随口就否定了万宁古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右，加工精度怎么能保障？依我看，就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”

“咱们不能随便乱说，要用实验数据来说话。”万宁古不认输，用手指摸了摸主机系统的接驳机构，感受一下接驳机构的加工面。

这组接驳机构的加工面非常光滑，曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。

所以，许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下，然后侧过脸来问万宁古：“老万，咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验？”

万宁古闻言摇摇头，“光刻机是精密设备，两套系统一定要组装在一起工作才行。否则，光刻流片的精度无法保障。”

按照他的意思，土办法是解决不了目前的测试困境，这事有点难办了。