大国智能制造 第七百二十三章 第一步

“许董，按照目前的情况来看，我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。zhongqiuzuowen”胡明镇只有九层把握，并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。

光刻机的原理和照相机的原理基本一样，都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度非常高，最低可达到0.018微米。倘若再使用FinFET制程技术和浸润式光刻制程技术，精度要达到0.01微米以下。

由此可以想到，第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高，一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。

胡明镇一边说话，一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要，能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性，胡明镇不得不小心行事。

“装配工作什么时间能完成？”

看到李全等人的进度不是很快，许振鸣认为站在这里没啥意思，准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前，他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度表。

“许董，如果一切顺利，我们会在元月28日左右开始试生产，并且用这台光刻机来流片。”胡明镇比较忙，跟许振鸣说了几句，又开始投入工作。

许振鸣见此，拿着一摞用A4纸打印的资料，一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。

“三天内完成设备组装和安装，五天内调试好这台设备，第九天以后开始做试生产的准备…嗯，这个计划还算可以。”

许振鸣一边走路一边颔首点头，认为胡明镇的工作做得不错，准备很充分。

不多久，他来到4号钢构厂房的另外一个光刻室。

这间光刻室是用来安装国产光刻机的生产车间。

车间里此时也非常忙碌，万宁古、何昌林和郝宁等人也正在装配第三代光刻机。

他们这边的进度好像要快了许多，激光光路系统的部件已经组装完成，光刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会，好像要准备进行光刻机的总装工序。

看到这种情况，许振鸣倒是不理解，“老万，你们这边的进度为啥要快一些？”

“许董，这台光刻机的主要部件我们都已经准备好，就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货，其实根本不要检验其性能。最关键的事情就看光刻机总装以后的效果。

“光刻机的精度主要是受主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够，我们的项目还是没成功。”

说到最后，万宁古的眉毛全都皱了起来。他对这台光刻机主体系统的精度很担心，心里没有十足的把握。

听到这话，许振鸣的心情也好不起来。“你们需要多长时间来准备？”念及此，许振鸣想要知道万宁古等人的总装和调试计划。

“三天左右吧。”何昌林扫了一眼现场的情况，缓缓说道。

“三天恐怕不行，最少要五天时间。”

“最多五天时间，许董。五天以后，我们就能做流片试验了。”

万宁古和郝宁等人的意见还不统一，一个说要三天多，一个说要五天时间。

看到这种情况，许振鸣微微点了点头，“好，五天以后我再看你们的成果。”说完这些，他也没心思在这里等待着，拿着一摞报表资料就离开了4号钢构大厂房。

五天后的上午九点左右，许振鸣再一次的来到这间光刻室，想要了解万宁古等人的项目进度情况。

这时候，车间里已经整理干净，一台组装好的光刻机矗立在车间的正中央。

这台光刻机就是万宁古等人的劳动成果，主体系统全是一鸣集团公司自己制造的，激光光路系统是从此米国佬光刻上拆下来的样品。

“准备开机，先启动冷却循环水交换器系统。””万宁古此时拿着对讲机，给手下的团队成员们下达命令。

看到许振鸣走来，他嘴角含笑的告诉许振鸣，“许董，这台国产光刻机我们已经完成初步调试，到目前为止还没有发现问题。”

万宁古告诉许振鸣，一天以前他们就已经完成光刻机的总装，第一次初步调试发现有问题，国产激光光源系统的散热有缺陷会影响第第三代光刻机的性能。

“所以，我们临时增加一个循环水的冷却系统来给这台光刻机降降温。”万宁古笑了笑。

许振鸣不了解这些技术细节问题，只是对这台光刻机的成功时间节点感兴趣。“你们现在准备干吗？马上要调试了么，吗”他侧脸朝万宁古等人看了一眼。

“许董，我们现在就是在测试这台光刻机。”

“还有一个小时，我们就能做流片模拟实验了。”

何昌林等人给出许振鸣明确的答复。由此看来，他们已经对这台国第三代光刻机进行过初步调试和试生产，否则没有这么大的底气。

听到这话，许振鸣的心情倒是好了许多。他静静的的站在那里，目光落在万宁古等人的身上。

“报告万总，循环水冷却系统已经启动完毕。”

“万总，空气净化抽烟系统已经启动好，我们随时能开始做光刻模拟实验。”

“万总，咱们现在就开始么？”

不多久，万宁国手下的工程师已经完成工作，纷纷走来把自己负责检查的结果汇报一遍。事实上，不用他们汇报情况，万宁古其实也已经知道这台设备的数据结果。

此时此刻，这台光刻机的主工作站，显示器上正显示着各项数据。这些数据就是光刻机各个部件的实时数据。比如说，光刻车间里的温度、湿度、车间里的灰尘颗粒物的大小等。

但万宁古却没有按照光刻机工作站的屏幕，显示的数据来作为判断。他还是安排人员，去一项数据一贤数据的排查，核对实时数据。

经过一番比对，万宁古再次看了看手中的数据表格文件，发现一切数据都正常。他随后朝下的团队成员猛然一挥手，“开始！咱们立即开始做光刻模拟实验。”