大国智能制造 第一千零四章 芯片之战·不简单的设备

“带我去参观你们首次合格的产品吧？”把紫外光源的问题抛开一旁，许振鸣转移话题，准备去看看第一颗海豚I-1芯片。xiashucom

这颗用四层半光刻制程技术做出来的高精度芯片，纪念价值远比实际经济价值要高许多。故此，章钕京等人已经把这款芯片用有机玻璃密封好，陈列在鸣芯制造公司的产品展览室内。

听说老板要去看一看他们的功劳业绩，章钕京自然很开心，“哈哈…许董，你终于肯关心我们这些属下的成绩喽。”

“谁说不是呢。许董已经有好长一段时间没来我们工厂了。”

“哎，等一等。许董，咱们先去一下三号厂房。那边还有一个好产品。”就在这时，胡明镇却笑嘻嘻的摆了摆手。他拉着许振鸣，想要许振鸣先去视察一下国产第一台蚀刻机。

听到这番话，许振鸣停下脚步，郑重的点点头，“老胡说得对，咱们是应该先去看看那台国产蚀刻机。”

蚀刻机的国产化是华国人必走之路，一鸣集团公司能在97年7月就完成这项创举，许振鸣认为值得庆贺一下的。

不多久，众人来到三号厂房内。

“嘟…嘟…嘟……”

“轻一点，小张。你让操作工把那个等离子发生器的吊起来，悬空放置，一定要做好防护工作。”

无尘车间里，一鸣集团半导体设备制造公司的郭连生，此时正大声指挥着工程师们正在吊装设备。郭连生的跟前，那台进口的蚀刻机已经被拆开，叉车工正在起吊蚀刻机的等离子发生器。

看到这一幕，许振鸣有点愣神，“老胡，你们这是在干啥？”他没看明白，不知道郭连生等人在搞什么名堂。好好的一台进口蚀刻机，此时为何要拆开解体？

“许董，我们这台国产蚀刻机，其实就是逆向工程仿制岛国人的。虽然已经在实验室做过很多次试验，但我们还是不放心，准备把国产蚀刻机跟进口货交换一下主要部件。”

胡明镇告诉许振鸣，他们团队的计划是分三步走的。

第一步利用人家进口货的主机系统，毕竟人家的机械精度高；第二步利用人家的等离子系统，顺便对比一下国产等离子技术和岛国等离子技术的差距；第三步才是完全替代进口货，把国产蚀刻机换到生产线上检验。

如此说来，郭连生的团队倒是比较小心，不想影响3号芯片生产线的正常生产。

“蚀刻机的精度要求有这么高吗？”听完胡明镇的介绍，许振鸣感到有些意外。

电路时刻有两种方式，一种是湿法蚀刻，一种是干法。

湿法蚀刻是用化学试剂来蚀刻电路板，从而把曝光好的电路图留下来。这种方法一般用在精度不高的芯片、电子电路等产品当中。

但海豚I-1芯片制程精度达到130纳米，目前只能用干法蚀刻才能完成电路蚀刻。

而我们国家在等离子束光源发生器这方面的技术还落后国外，光源产生的等离子束发散度比较大，蚀刻好的电路有些粗糙，非常有可能会漏电！

胡明镇皱着眉头，把蚀刻机这方面的情况跟许振鸣介绍了一番。总之一句话，这种设备也不简单！